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半导体加工废水处理案例|半导体加工废水处理方法

该项目情况 该半导体材料行业客户主建在长三角经济区形东北部,一般生育8厘米和12厘米晶圆,日排卸废蓄水量约2000吨。随着半导体材料行业生育工序繁杂,生产废水治疗工艺成份多彩且包含的各种各样难分解产物,客户主固有办理基础设施始终无法 够满足发展标的生态环保排卸标,故投资加盟1000万元新修建专科生产废水治疗工艺办理站。 电镀废水因素及渠道 该各个企业工业废水大部分构成八类: 含氟废水处理工艺:来自于晶圆蚀刻、清洁工作程序,氟阳离子含量高达mg2000mg/L; 巧妙废气:来光刻、定影等工艺设计,有效异丙醇、甲苯等巧妙相转移催化剂,COD值在5000mg/L差不多; 酸碱平衡生活污水:存在于擦洗和面操作过程,pH值上下波动大; 含铜污废水 :出于化学镍和废金属热艺,铜正离子密度约150mg/L。 工作流程步骤流程步骤 根据不一成分的废水净化治理 ,运用"分类别汇集+分质净化治理 +端部深度的净化治理 "的组装流程: 含氟工业废水整理线: 二级化工水解:先加药系统氯化钙调试pH至6-7,另加入PAC和PAM二沉池水解; 吸附剂性空气氧化铁吸附剂:确保氟化合物质量浓度降下来8mg/L一些。 充分电镀废水正确处理线: 微电解设备作用:铁碳塑料填料床预加工处理延长焦化废水可生物化学性; UASB生物滤池发生物反应器:HRT=24h,COD清掉率65%; MBR膜生物体现象器:使用PVDF中空中棉纤维膜,冒水COD<50mg/L。 酸碱性废水处理采和装置: 自己pH调结:根据在线免费数据监测仪把握加酸加碱量; 二沉池滤渣:除去与有的悬屏物。 含铜污水解决: 耐腐蚀石雕文化沉淀自己:污泥脱水NaOH可以调节pH至9-10,达成氢防氧化铜石雕文化沉淀自己; 亚铁阳离子交易:保持铜亚铁阳离子氧浓度<0.3mg/L。 深入处置单元式: 臭氧老化催化脱色脱色:进一个步骤分解的难分解的巧妙物; 特异性炭滤出:出掉饱和度和微量分析的工业废气; UV直射线消毒杀菌:加强组织领导出液微生物学制品标准符合标准。 之后目的 楼盘加载后,有水出水质量保持稳定达成《电子厂化学工业水空气有害物质排污标》(GB 39731-2020)十分排污卫生防护距离符合要求,这其中氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜<0.3mg/L。每一年的可减低氟化物排污约120吨,COD排污约400吨,回收处理有限水源量约十万吨。调节系统自行化成度高,加载直接费用调节在8.5元/吨水以上。

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