施工情况
某8厘米晶圆厂刻蚀工艺流程有含氟废水正确处理(大部分成份为HF、NH4F),方案正确处理经营规模200m³/d,必须控制水中水回用率≥90%,氟化物回收处理根据率>80%。
水质检测结构特征
氟化物密度等度大(50-5000mg/L)
含硅粒子及合金金属化合物(Al³⁺、Cu²⁺)
氯离子的含量高(300-800mg/L)
工艺设备方法重点
级别划分获取整体
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高含量废水处理工艺(>1000mg/L)设定进去凝结收废系统化
低盐浓度废气进去规范进行处理线
核心内容净化处理单位
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旋流影响器短时间析出氟化钙
多效空调冷凝器器精炼氟化铵溶剂
速冻成果化学合成高纯氟化铵车辆
循环体统
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反渗透膜法装置+反渗透膜法双膜法产水循环
浓水适用加工区抑尘
成本技术设备指标体系
氟化物标准化收购 率82%
吨水办理料工费减小至18.7元
年回报氟化铵类产品350吨
软水工业废水处理率92.3%
氟有机化工废气解决核心技术性总结会
化学式水解法
网站优化重点难点:
钙盐添加量需操控Ca²⁺:F⁻=1.05-1.1(摩尔比)
化学反应pH值精确度调控在10.5-11.5区域
广度进行处理新技术
比选:
吸附性氧化反应铝:适于于<20mg/L的深浅外理
反融合:最适合低含量含氟废气
电团结:除理难度很大生产氟废液
资源共享化定位
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氟化钙析出能加工为人处事造萤石
氟化铵溶剂提练后循环于生产销售
出售氟商品经济发展价值观会达3000-5000/吨
注:实际效果公程中需可根据饮用水性去小试决定最合适的工艺数据,推荐首选充分考虑分质进行处理与反复的合理利用情况报告。