该电子设备厂处在华北位置,核心制造销售半导体设备用料,制造销售过程中 中所产生广泛含氟化氢的废水治理方法,日废气产量下跌约50吨。是因为氟化氢酸度到达800mg/L,远超我国废气释放原则(10mg/L低于),中小型企业急要的建设专业治理装置。
废水处理组分及种类
电镀废水大部分源自晶圆冲洗、蚀刻工艺程序,大部分污染破坏物为氟化氢(HF),并且所含一点硝酸银、硅酸盐及少量天价属。pH值非常低(1-2),存在强腐烛性。
整理新生产工艺流程图
所采用"检查是否悠长岁月中自己+水解酸化池悠长岁月中自己+长度过滤清洁"三阶段处理工学艺:
与想法
:加药氢阳极氧化钙(Ca(OH)2)调低pH至8-9,产生氟化钙沉定
斜管积累池积累
:进入PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(高分子聚乙烯酰胺)进行强化悠长岁月中效用
层级吸附
:凭借石英晶体砂过滤系统器和活性酶类炭吸塔洗去多余漂浮物
pH调整
:用稀酸洗将冒水pH修正至6-9的标准依据
的关键调整数据:想法时候≥307分钟,Ca/F摩尔比调整在1.1:1,攪拌运行速度60rpm。
不可能郊果
除理后有水出氟正离子氧浓度稳定性高在6-8mg/L,清掉率达99%,压根满意《污水处理站綜合排卸规格单位》(GB8978-1996)1阶段规格单位。体统电脑智能化以及自动化方面高,加载成本投入约8元/吨水。