某半导体材料电源芯片研制厂在晶圆加工生产时中，使用的硅烷展开硅概念生长期，汽车尾气干洗塔诞生高占比含硅工业废水操作。工业废水操作具有着pH动荡大（2-11）、硅占比高的特色，以往操作方式 易突然出现硅垢堵住疑问。 废渣材质及来自 污水重要组成成分为： 融掉性硅酸盐 ：SiO₂有机废气浓度达1000-1500mg/L 浓盐酸/氢氧化反应钠 ：洗衣塔腐蚀性洗衣液残留物 顆粒硅 ：奈米级SiO₂橡胶胶体部分 痕量砷 ：配料沉淀物带到 进行处理工艺工艺程序工艺程序 创新性适用"两极结合+膜滤过+汽化析出"流程： 1阶段中合 ：用CaO缓解pH至4-5，自动生成硅酸钙沉淀出的，硅除去率60%。 二次结合 ：加Na₂CO₃将pH升级至9，进步骤沉淀物余量硅，串并联用镁剂除砷。 超滤膜体系 ：0.02μm工业陶瓷膜过滤清洁微米级硅顆粒，通量安稳在80LMH。 MVR蒸发掉器 ：高浓高盐废气，心得出Na₂SO₄副设备，水回收利用率超90%。 之后效用 总硅从1500mg/L降下来5mg/L如下 砷含水量从0.8mg/L降下来0.01mg/L 体系无积灰执行高出2年 常年二手回收浓盐酸钠晶胞约800吨