某光电器件营造品牌因晶圆清晰流程所产生含氨化工废水,的水量200吨/天。化工废水底除挥发酚外还包含有氟化物和少量血本属,正确处理难易大。当地的废气排放标规范要求挥发酚<5mg/L,氟化物<3mg/L。
废水处理工艺材料及源于
晶圆的清洗工业废水(重要由来):含氯离子200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀生产工艺废水处理方法:含进样器铜、镍等巨资属,pH值上下波动大
CMP精磨化工废水:含硅小粒及挥发酚
除理工艺设计操作流程
适用"药剂学积淀+膜分开+折点氯化"女子组合技艺:
预净化处理
:加药系统CaCl2除氟,控住pH在7.5-8.
反渗透装置机系统
:清掉0.01μm不低于污染物物
反进行渗透精炼
:将高锰酸盐指数溶缩至1000mg/L超过
折点氯化
:准确度操作氯加药系统量,将挥发酚导出为氦气
正离子传递
:保证高价属不合格
不可能效果好
高锰酸盐指数保持稳定<3mg/L,氟化物<1mg/L
巨资属占比如果低于检则限
水中水回用率达75%
污泥处理会产生量以减少40%