佛山某半导体材料IC芯片制作业厂,晶圆制作加工过程中中生成含硅、氟的特异生活污水,设计的概念除理面积1200吨/日。生活污水组分繁复,富含納米级硅粉末及氢氧化钠,传统文化除理手段得以考核标准。
废气成份及原因
主要污染破坏物
:胶体溶液硅(100-500nm粒度)、氟阴阳离子(200-300mg/L)、异丙醇
的来源制作工序
:晶圆刻蚀污焦化废水 (45%)、CMP生物机制抛光处理污焦化废水 (40%)、环保设备清洗水(15%)
解决技术工艺
科学创新进行"化工结晶+特类膜分離"工艺路线地图:
钙盐悠长岁月中
:加药系统氯化钙取除氟化合物(形成CaF2石雕文化沉淀)
斜板沉淀池发生反应
:结合斜管沉淀池剂达成氢氧化铁硅脱稳
管式微滤
:0.1μm孔直径膜截流微细颗粒剂
反渗机系统
:脱盐率>98%,收售率75%
化掉心得
:浓水段构建氟化物零尾气排放
然后疗效
氟化物酸度:<8mg/L(高出国家地区考试内容一级标淮10mg/L)
硅含氧量:<5mg/L
水材料回收利用率:70%在闭式冷却水塔塔保湿补水
危险废物回收利用:蒸发掉碎渣量较传统艺术技艺以减少60%